半导体用碳化硅
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半导体用碳化硅


用于制造半导体器件的基板、电极、散热器等部件。
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产品特性及用途

由于碳化硅陶瓷具有高强度和高密度的特点,因此它非常适合用于制造半导体行业里的各种结构件。例如,碳化硅陶瓷可以用于制造半导体器件的基板、电极、散热器等部件。这些部件需要具备高强度和高密度,以承受半导体器件工作时产生的高温和高压。

无压烧结碳化硅陶瓷材料特性   

无压烧结碳化硅陶瓷是以高纯、超细碳化硅粉为原料,加入少量的烧结助剂,在大气压的惰性气体或真空气氛中,以1950~2100℃高温下烧结,所得制品几乎完全致密,具有优良力学性能的陶瓷材料。无压烧结碳化硅陶瓷:轴套类产品、滑动轴承类产品、机械密封环、平环、喷砂嘴、防弹片、陶瓷加热板、陶瓷均热板、3D玻璃热弯磨具、微通道反应器陶瓷板。

金德新材料公司碳化硅陶瓷制品具有耐酸碱腐蚀、高硬度耐磨损、自润滑性好、耐高温抗氧化、热膨胀系数低、导热性好等特点、被广泛应用于航空航天、汽车工业、石油化工、机械密封、冶金电力、泵类设备、热弯磨具、微通道反应器、新能源、半导体、科研和国防军工等行业及领域。

项目

单位

指标

体积密度

g/cm³

3.08-3.16

硬度HV

kg/mm³

>2550

抗压强度

Mpa

>2500

抗弯强度

Mpa

400-490

碳化硅含量

%

≥99.2

弹性模量

Gpa

≥410

导热系数

W/m.k

100-120

热膨胀系数

i/℃

4.0

气孔率

%

<0.1

泊松比

 

0.16

使用温度

1900

无压烧结陶瓷生产设备

jinde

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